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Halbleiter (UHP)

GCE liefert Komponenten und Systeme für Gasapplikationen in der Halbleiterindustrie Zum Produktprogramm gehören Regler, Ventile, Einflaschenstationen oder Umschaltstationen und Massflowcontroller (MFC) für die folgenden Ultra-High-Purity (UHP)-Anwendungen:

  • Wafer-Produktion (CVD, NOCVD)
  • Beschichtung von Solarzellen
  • Fertigung von LCD-Paneln
  • Mikromechanik: Ätzverfahren in der Mikrochipfertigung
  • Festplattenherstellung
  • Glasfaserbeschichtung
  • Herstellung / Verarbeitung von polykristallinem Silicium (Polysilicium, „Solarsilicium)